| 是否进口：否 | 产地：日本 | 加工定制：否 |
| 品牌：TORAY东丽 | 型号：MS-500 | 类型：氧气测定仪 |
最多可同时测量 8 个点
可以显示从ppm级到***的宽范围浓度。
非常适合安装在半导体制造设备、真空设备等中。
传感器直接插入（NW 法兰 16/25/40 用于真空）
坚固耐用的传感器，带有特殊涂层，更耐用
MS-500 规格
| 测量原理 | 氧化锆阴影电池供电 | |
|---|---|---|
| 形状 | 分离式（换能器：壁挂式，传感器：直插式） | |
| 显示方式 | 数字 4 位显示（密度显示） | |
| 测量范围 | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0ATM 自动量程 | |
| 重复性 | ± 0.5%FS以内 0-1%以上 ±1%FS以内或±0.1ppm 以内 0-1%范围 0-1ppm，ATM范围超出浓度***范围 | |
| 测量点数 | 1~8 | |
| 气体条件先生/女士 | 压力 | 10-3~200KPa（压力） |
| 流量 | 0.5~5,000mL/min或0mL/min（自然扩散状态的测量） | |
| 湿度 | 露点低于环境温度 | |
| 温度 | 0~100°C | |
| 其他 | 不含腐蚀性气体（氟化气体、氯气、硫化物气体等）、含有机硅的气体、易燃成分（包括气体）、油或水。 | |
| 比较气体 | 大气层 | |
| 录音机输出 | 仅传输输出 | |
| 传输功率 | RS-232C接口 | |
| 报警输出 | 没有 | |
| 预热时间 | 6分钟内 | |
| 大小 | MS-500 （控制器） | 92 （W） × 44 （H） × 120 （D） （不包括突起部分） |
| MS-510 （转换器） | 100 （W） × 40 （H） × 88 （D） （不包括突起部分） | |
| 传感器单元 | SD16NW型 | 总长度：100mm（感应部分Φ11×39，机身部分Φ40×51） |
| SD25NW型 | 总长度：100mm（感应部分Φ11×42，机身部分Φ40×48） | |
| SD40NW型 | 总长度：100mm（感应部分Φ11×41，机身部分Φ40×49） | |
| 质量 | MS-500 （控制器） | 约0.6Kg |
| MS-510 （Transconnector） | 约0.5kg | |
| 传感器单元 | SD16NW型 | 约0.2Kg |
| SD25NW型 | 约0.2Kg | |
| SD40NW型 | 约0.35Kg | |
| 外部连接 | 任何真空法兰（NW16、25、40） | |
| 使用的电源 | 24VDC±10% |
