| 是否进口：否 | 产地：日本 | 加工定制：否 |
| 品牌：NSK日商精密光学 | 型号：AF | 外形尺寸：见参数mm |
| 重量：见参数Kg | 产品用途：见参数 | 规格：见参数 |
特点
1.这是一种新型深度和高度测量装置，结合了使用光切割的狭缝图像观察和使用聚光图像的AF（自动对焦）跟踪。
2.连续跟踪自动对焦驱动可实现快速、易于使用的测量，并具有高重复性。
3.由于该方法是在观察狭缝图像投影的台阶形状的同时进行测量，因此可以实时识别测量屏幕上的高度，从而轻松确定需要测量的区域。
4.这是一种狭缝图像、点光图像和电子线参考线的中心在测量点处都一致的测量系统，通过检查错位，可以防止测量值错误。
5.光切割仰角可根据应用场合从标准90°至30°、60°、120°中选择。
主要规格
■ 观察方法 光学切割法（利用狭缝光学系统测量深度和高度）
■ 物镜 固定放大倍率 10 倍（也可提供 5 倍和 20 倍）
■ Z轴驱动方式 使用聚光灯的 AF 连续跟踪方法（可离线手动测量）
■ 投影狭缝 10μm半反射镜型
■ Z轴测量 Z轴数字线性规0.1μm读数
■ 重复性 ±1μm以内
■ 使用的光源 半导体激光器（2级）、卤素光源
